產品展廳
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Kalrez 6190 Dupont America 杜邦 密封圈 半導體 面板
- 英文名稱：Kalrez
- 品牌：Dupont America 杜邦
- 產地：美國
- 型號：美標&日標成品
- 價格： ￥137/個
- 發(fā)布日期： 2025-01-04
- 更新日期： 2025-07-14
產品詳請
| 品牌 | Dupont America 杜邦 |
| 貨號 | |
| 用途 | DuPont? Kalrez? 6190 全氟橡膠零件是一種炭黑填充產品,專門用于定制零件和大批量 應用。它具有優(yōu)異的熱穩(wěn)定性和良好的機械強度性能,可用于 高達 300℃(572℉) 的靜態(tài)和動態(tài)密封應用。此外,Kalrez? 6190 耐受大多數化學溶劑,但不建議用于蒸汽、 強酸或強堿。請聯系 Kalrez? 應用工程師,討論適合您的特定應用的性能。 |
| 英文名稱 | Kalrez |
| 型號 | Kalrez 6190 |
| 產品等級 | |
| 包裝規(guī)格 | 美標&日標成品 |
| 外形尺寸 | 密封圈 定制尺寸形狀 |
| 原產地 | 美國 |
| 生產企業(yè) | Dupont America 杜邦 |
| 是否進口 | |
| 形狀 | 密封圈 |
Kalrez®
在惡劣環(huán)境中穩(wěn)定
專業(yè)密封設計用于關鍵任務應用。
O-rings made with high-performance Kalrez®.
從航空航天和化學工業(yè)到芯片制程以及油氣應用,杜邦™ Kalrez® 彈性體旨在提供更高的穩(wěn)定性,更高的抵抗力和更有效的密封。周期。
盡管杜邦沒有發(fā)明 O 形圈或特種密封膠,但它在創(chuàng)新和發(fā)展方面已有 40 年的歷史,創(chuàng)造出可承受 挑戰(zhàn)性的工作環(huán)境的密封膠。
除了其清潔度和純度外,Kalrez®聚合物分子鏈被設計為最惰性的聚合物結構之一,可耐受 1800 多種不同的化學物質,同時提供高溫穩(wěn)定性。
Kalrez®全氟彈性體是按照 質量標準制造的。每個部件都有記錄的可追溯性,并且這些部件具有行業(yè)內最長、最可預測的使用壽命之一。
Kalrez®零件經過長期驗證性能可以減少密封件的更換,維修和檢查的頻率,增加了過程和設備的正常運行時間,從而提高生產率和良率。
用途
泵、反應釜和法蘭接頭的密封與 O 形圈
閥桿填料系統(tǒng)
用于航空航天、石油和天然氣設備、運輸和化工的高性能零件
生命科學應用
半導體加工
光伏制造密封件
食品接觸材料
優(yōu)勢
耐受 1800 多種化學物質
高達 327°C 高溫耐受性
保持密封完整性
降低維護和運營成本
密封壽命長
符合藥品和食品加工安全標準
提供標準和專用化合物,供定制使用
杜邦Kalrez®CP222全氣彈性體零件是用于獨特定制形狀或高產量應用的 產品。Kalrez°CP222零件提供 的化學穩(wěn)定性和機械性能,并延續(xù)了杜邦提供高價值全氟彈性體零件以延長平均修復間隔時間(MTBR)的傳統(tǒng)。
除了高流量0形環(huán)應用外,Kalrez°CP222}可以在各種定制幾何形狀中制造,這些幾何形狀曾經是全氣彈性體無法企及的?，F在,Kalrez®}部件可以設計成適合復雜的新設備,或者可以作為現有應用的性能升級。
Kalrez°CP222通過提供具有獨特型材和光滑表面處理的要件,拓展了定制全氟橡膠要件的可能性。
耐化學性
對于許多應用來說,彈性體的低體積膨脹對于設備的正常運行至關重要。過度的膨脹可能會導致由于密封失效和潤滑液體的泄漏而導致設備過早停機。體積膨脹是性能的良好預測指標;然而,還需要進行其他物理性能測試來進一步定義產品性能。
以下化學品代表了行業(yè)中一些 性的應用。這些測試結果表明了性能;然而,所有應用都是獨特的,強烈建議在實際工藝流體中進行浸沒測試。
杜邦公司™卡爾雷茲粘合門密封件
密封設計+材料性能=更高的晶圓產量+更低的擁有成本
技術信息一2010年7月 0版
用于閘閥和狹縫閥門的密封門封提供了比傳統(tǒng)0型圈更好的密封性能,通過減少顆粒生成、延長密封壽命和在預防性維護期間減少更換時間。
杜邦™“Kalrez°粘合門密封件設計簡便,顆粒產生量低。它們結合了定制密封設計和專有的粘合技術,以及Kalrez°9100,8002和KalrezSahara8085的出色的等離子體阻力。與傳統(tǒng)的0形環(huán)相比,密封件保持在“固定位置,從而消除了門驅動過程中的“滾動/扭動”。此外,密封設計已優(yōu)化使用有限元分析(FEA),以盡量減少局部應力的高濃度。因此,與傳統(tǒng)的0型環(huán)相比,顆粒生成和密封性能顯著提高。Kalrez粘合門密封件可在Kalrez®9100、8002和Kalrez®Sahara中使用。"8085*用于蝕刻、灰化/剝離、HDPCVD、PECVD、SACVD、金屬CVD和ALD芯片加工應用。
典型應用
閘閥、狹縫閥門和其他類似部件目前采用0形密封圈或燕尾密封。
與傳統(tǒng)0型圈相比,顆粒產生更低,密封壽命更長·密封元件保持在“固定”位置,即在使用中消除“滾動/扭曲”·Kalreze9100,8002和KalrezeSahara"8085用于最小化反應等離子體中的粒子生成
·超純后清洗和包裝可減少不必要的污染
改進的密封性能-一 設計可 限度地減少高濃度的局部應力
與0型環(huán)密封在預防性維護期間相比,更換時間更短
·快速便捷地組裝/拆卸到安裝支架減少0型圈密封件常見的安裝問題
在預防性維護過程中無需清潔密封蓋
包裝上的條形碼加上封門密封件編號,以及刻在商業(yè)上可獲得的封門密封件背面的Kalrez產品編號,保持可追溯性和識別性,并確保它是一個Kalrez全氟彈性體部件(FFKM)。
有效杜邦™Kalrez° 鍵合門封適用于大多數半導體 OEM 設備平臺。此外,可以為大多數閘閥和狹縫閥門封應用開發(fā)定制的 Kalrez° 鍵合門封。超純后清洗和包裝是所有 Kalrez° 鍵合門封的標準。請聯系杜邦高性能彈性體應用工程師或授權的 Kalrez°分銷商,了解特定尺寸的可用性。
在Fab生產線上得到證明的性能
案例報告#6376-歐洲制造線,PECVD增值稅MONOVAT保稅門申請工藝化學:三甲基硅烷(TMS)、氧氣
清潔化學:通過遠程等離子體源進行NF3等離子·客戶報告的結果:在處理超過55,000對晶圓后,沒有報告Kalrez°9100VATMONOVAT*密封門性能問題?，F有的VAT MONOVAT*密封門(具有競爭力的FFKM F4)在顯示顆粒生成之前僅使用了30,000對晶圓。
案例報告 #7174-美國Fab線,綜合ALD/鎢合金CVD縫隙閥門密封應用工藝化學:WFS,SiH4,H2,N2,Ar
清潔化學: NF3 等離子體“原位”生成
·客戶報告的結果:客戶能夠使用Kalrez°9100粘合狹縫閥門密封件將PM周期從6,000片晶圓延長至10,000片晶圓。由于密封壽命不一致,且由于顆粒生成而過早更換,現有粘合狹縫閥門密封件(競爭性FFKM A11)的PM周期設定為6,000片晶圓。
案例報告#7153-日本FabLine,HDPCVD縫隙閥門密封應用工藝化學: SiH4,02,He
·清潔化學:通過遠程等離子體源產生 NF3 等離子
客戶報告的結果:Kalrez°8002 鍵合狹縫閥門密封件在大約20,000個晶圓中持續(xù)運行,沒有報告任何性能問題現有密封件(競爭性FFKM A11)在顯示真空泄漏之前僅持續(xù)12,000個晶圓(1個PM周期)。
案例報告#7640-日本FabLine,HPDCVD縫隙閥門密封應用Process chemistry:SiH4,02,He,Ar,H2
清潔化學: NF3 等離子體
·客戶報告的結果:Kalrez®8002}粘合式狹縫閥門密封件在15,000個晶圓周期內沒有報告任何性能問題?，F有密封件在顯示顆粒生成和真空泄漏之前僅使用了10,000個晶圓。
案例報告#3786-歐洲Fab線,SACVD縫隙閥門密封應用
過程化學:TEOS,03,TEBO,TEP
客戶報告結果:Kalrez° 撒哈拉"“8085鍵合狹縫閥門密封在超過30,000個晶圓周期內沒有報告任何性能問題?，F有的鍵合狹縫閥門密封(具有競爭力的FFKM A11)在出現粒子生成之前僅持續(xù)了10,000個晶回循環(huán)
案例報告#7262-歐洲 Fab Line,SACVD MONOVAT®粘合門密封應用·過程化學:TEOS,03,TEBO,TEB
·客戶報告結果:沒有報告與KalrezeSahara}相關的性能問題"8085 VAT MONOVAT@在處理96000對晶圓后綁定門?，F有VATMONOVAT@綁定門(具有競爭力的FFKMA18和F4)在出現粒子生成和真空泄漏之前僅能承受30,000對和60,000對晶圓。
案例報告#5791-馬來西亞Fab線,HDPCVD縫隙閥門密封應用·工藝化學:SiH4,02
清潔化學: NF3 等離子體
·客戶報告結果:Kalrez°撒哈拉"8085鍵合狹縫閥門密封在12,000個晶圓中持續(xù)運行,沒有任何性能問題報告。
現有的鍵合狹縫閥門密封(具有競爭力的FFKM A18)在出現裂紋之前僅運行了6.000個晶圓。
案例報告#8729-美國Fab生產線,鎢CVD縫隙閥門密封應用
杜邦™ 卡萊克斯
全氟彈性體成分
在化學和環(huán)境苛刻環(huán)境下的可使用性和持久性
您可信賴杜邦密封解決方案"即使在最苛刻的工藝環(huán)境中
旨在提供 性能
40多年來,杜邦致力于改進全氟彈性體元件的生產。彈性體元件通常由三個元素組成:聚合物鏈(彈性體的主要鏈),交聯系統(tǒng)(將聚合物鏈連接在一起,對彈性和密封性至關重要)和加載系統(tǒng)(用于提高機械性能)。由于其長期的經驗,杜邦將這三者結合在一起,提供 密封性。
減少揮發(fā)性持放物
Kalreze解決方案KalrezValveStem Packing系統(tǒng)有助于減少揮發(fā)性廢物的損失和排放,從而提高環(huán)保法規(guī)的合規(guī)性。通過保持完整的密封性,Kalrez組件降低了違反環(huán)境法的風險。
生產過程的純凈性
Kalrez組件有助于避免工藝污染:
.Resistendo alla degradazionea contatto con sostanzechimiche aggressive;
更低的維護成本
杜邦組件™Kalrez有助于增加平均維修時間(MTBR)并降低維護成本。它們的耐用性 限度地減少停機時間非編程機器,可延長常規(guī)檢查和關鍵部件維修周期之間的時間。
*Mantenendo la forza di tenuta allealte temperature.in modo da ridurre
le perdite;
*Contenendo meno ingredienti che
vengono estratti nel processo;
Limitando il degassaggio nelle tenutesottovuoto:
更高的生產力
通過降低更換頻率,密封件的修理和檢查,增加工藝和設備的服務時間,提高生產力和產量。
更大的安全性
與其他彈性體相比,使用壽命更長,性能更好,Kalrez有助于降低由于密封件失效而導致的化學污染風險。
*Soddisfacendo le norme FDA piùsevere riguardanti purezza e igiene
通過IS0 9001認證和可追溯4
Kalrez"組件僅由杜邦制造,完全集成的組件和模具制造商Vespel°,氟彈性體Vitone聚合物在合成橡膠氯丁橡膠,以及全氟彈性體組件。Kalrez組件在通過ISO 9001質量認證的工生產,并以帶有條形碼的信封銷售,以確保完全可追溯性。
杜邦公司™Kalrez®為您的應用需求提供各種產品
杜邦產品線"“Kalrez專為在苛刻的工藝環(huán)境中提供優(yōu)異的性能而設計。由于其高耐酸性,胺,超純去離子水,堅固的基礎和高溫,Kalrez產品是任何應用的理想解決方案。制造商可以提高其操作環(huán)境中的密封性能。
在食品和制藥行業(yè)的純度
關于食品和制藥行業(yè)的法規(guī)要求更高的關注和更嚴格的指導方針。產品安全。用于制藥應用的Kalrez“組件確保與樹脂的清潔性和化學惰性是真正的彈性體。其熱性能和化學性能與橡膠相似。a.Kalrez為制藥行業(yè)提供新的保護水平,防止污染和泄漏。a。
使用高溫的工藝中密封的可靠性,攻擊性化學物質和等離子體,
其他關鍵應用
由于對燃料的耐受性非常強添加劑潤滑劑;腐蝕性化學品和高溫,Kalrez組件已經在航空航天鉆井應用中使用,如今在最苛刻的環(huán)境中是 。不允許有密封泄漏的地方
在化學和碳氫化合物加工中耐化學品和高溫
在目前的化學和碳氫化合物加工設施中,在較高溫度下進行,使用更長的時間,并且涉及更具侵略性的產品。為了縮短平均維修時間(MTBR)并提高安全性,Kalrez組件是 。長期以來,工業(yè)標準是杜邦"“Kalrez4079但日益增長的生產需求導致了更高性能的產品開發(fā)。今天,杜邦產品家族"卡爾需茲頻譜"擴展Kalrez”4079組件的化學和熱性能,以 滿足這些應用的規(guī)格。
電子產品
這些組件有助于降低晶圓加工的總運行成本,光伏面板和液晶顯示器設備的制造工藝,提供更長的保質期和延長平均維修時間。不兼容的保質材料導致的非計劃維護可能會干擾生產計劃,導致機器停止。Kalrez”組件可以幫助改善
杜邦公司™^Kalrez®提供最廣泛的化學抗性
對超過1800種化學物質具有 的抵抗力
杜邦全氟彈性體部件""Kalrezh具有幾乎普遍的化學抗性。抵抗超過1800種化學物質的侵襲,溶劑和等離子體。常規(guī)使用Kalrez產品對于需要廣泛的耐化學性的所有應用,不再需要將不同的產品存放在倉庫中,從而降低庫存成本。
最小膨脹量
化學物質引起的膨脹可能導致O型圈和由其他輪胎制成的密封部件從密封槽外膨脹,最終導致密封件松動。Kalrez°組件在暴露于各種產品時,可承受顯著的膨聯
化學品和溶劑,包括濃縮的硝酸氫氧化鈉,乙二胺和蒸汽。
優(yōu)化化學阻力和密封性能
為了在特定應用中 限度地提高密封性能,杜邦不斷開發(fā)新產品以滿足新的需求。在化學品和碳氫化合物加工領域,杜邦Kalrez@Spectrum產品系列"提供更高的耐化學性和更高的熱穩(wěn)定性。這種組合為公司提供了更大的操作空間,用于其他化學用途和更高的熱傳遞。有關Kalrez組件的化學兼容性更具體的信息,請聯系請參閱杜邦的“耐化學性指南”或Kalrez應用指南,兩者都可以在我們的網站上找到,或聯系Kalrez部件的授權經銷商
杜邦公司"“Kalrez®在高溫應用和工藝中表現優(yōu)異
工作溫度高達327°C
即使長時間暴露在高達327°C的溫度下,杜邦組件"Kalrez@比其他可用于高溫應用的彈性體更好地保持其彈性和恢復性能。這些特性,加上幾乎普遍的化學抗性,它們使Kalrezdi組件能夠在非常廣泛的工藝環(huán)境中運行。
保持密封性能
正如ISO3384測試所證明的,Kalrez組件在保持密封強度方面優(yōu)于其他彈性體,密封壽命的衡量標準。即使在惡劣和苛刻的條件下,i組件Kalrez更長時間保持其密封強度。此外,由于具有與真橡膠相當的彈性,i組件Kalrez@防止由塑料流動引起的泄漏,聚四氟乙烯(聚四氟乙烯)有一個更大的問題。
壓縮套件已更換
Kalrez@組件具有較小的壓縮集,特性保證了長期 的密封性。由于Kalrezhan組件在壓縮下比其他全氟彈性體更好的恢復,即使在長時間受力的情況下,它們也能更好地保持形狀。
杜邦公司™Kalrez®在涉及化學品和碳氫化合物的最苛刻工藝中,延長了平均維修時間和維護壽命
杜邦KalrezKVSP減少揮發(fā)性排放物并改善過程控制
Testato fino alla classe 600 secondo ANSl/FC191-1-1994
*Certificato secondo le norme TA Luft*Confo airequitidoma crettNa sumeattrezzature a presslone PED9T/23/EC
Kalrez”確保用于加工化學品和碳氫化合物的密封件的使用壽命
在泵、閥門、機械密封或分析設備中杜邦部件"“Kalrez年復一年地證明了其品質。其對 侵蝕性的化學品和高溫的高耐性使其能夠抵抗膨脹和脆化,密封過早失效的主要原因之一。無論是O形圈,定制或系統(tǒng)形式閥桿包裝,i組件Kalrez”提高生產力,限制揮發(fā)性排放物并減少昂貴的密封泄漏4
減少摩擦與系統(tǒng)Kalrez閥桿包裝KVSP™
在手動和自動控制中,使用杜邦"卡爾雷茲®KV SPT杜邦Vespel支撐部件的V形環(huán)Kalreze組合物,可承受高達288°C的溫度,可提高閥門性能,降低維護成本并限制揮發(fā)性排放量至10 ppm以下。KalrezKVSP™無需維護,是石墨和聚四氟乙烯密封系統(tǒng)的替代品。
減少摩擦,Kalrez°KVSP提高了過程控制的可變性,提高產量和產品質量。摩擦數據表明,Kalrez?KVSP™提供與PTFE密封系統(tǒng)類似的性能。由于它們不需要對閥門進行修改,安裝后很少需要調整,卡爾雷茲KVSPT“在閥門性能方面是一個重要的更新。
杜邦公司"“Kalrez°確保制藥過程的完整性和純度
其結合了熱性能和化學性能以及類似橡膠的密封性能,杜邦組件"Kalrez8為制藥行業(yè)提供了新的保護級別,防止工藝污染和粘合劑沉降。類似于PTFE用于清潔,熱和化學抗性Kalrezha通用密封材料的彈性和抗壓性,例如乙烯-丙烯聚合物(EPDM)。氟彈性體(EKM)和硅橡膠。已開發(fā)出Kalrez®neri和白色產品,以滿足特殊密封要求?，F代制藥和生物制藥生產流程,以提高純度及完整性。
符合FDA和USP標準
根據食品接觸通知證書FCN000101,美國食品和藥物管理局(FDA)已確認Kalrez”6221和Kalrez°6230全氟彈性體成分符合直接與食品接觸的重復使用要求。該證書是FDA針對食品接觸物質的上市前通知流程后頒發(fā)的,根據《聯邦食品法》第409(h)條的規(guī)定,《藥品和化妝品法》(21U.S.C.348(h))。這是FDA批準使用食品接觸產品的主要工具。FCN000101規(guī)定材料的可提取性限制不得超過0.031毫克/平方厘米。指定的Kalrez°6221和Kalrez®6230產品已根據美國藥典VI類(USPVI類)標準進行測試,并符合要求。此外,指定產品Kalrez*符合FDA21CFR 1777.2600標準的要求。
使用杜邦組件在電子領域提供更高的性能"卡爾雷茲®
在電子領域,涂料受到影響性能的工藝條件的影響。幾乎完全的耐化學性和高耐高溫性使杜邦部件™“Kalrez@}幾乎可以用于任何涉及高溫的工藝應用,包括所有類型的血漿。
除了 的耐化學性和熱穩(wěn)定性外,杜邦
卡爾雷茲“超純"“確保與反應性等離子體和清洗氣體接觸時減少污染,真空密封性能更好,脫氣更少。此外,卡爾雷茲"超純部件"“在無塵環(huán)境中制造,在100級工作站上特別清潔和雙重包裝。
Kalrez"組件確保在具有侵略性等離子體的應用中的長期可靠性,沉積作用,熱處理應用和
潮濕的,無論是晶圓加工,制造光伏電池板或液晶顯示設備的過程。
Kalrez組件可用作AS568標準0形圈,JIS和公制尺寸。此外,還提供粗片和特殊形狀,用于焊接密封件或定制開發(fā)。
在電子領域進行實地實驗
■使用高能氧等離子體焚燒爐生產超過50000個晶圓,無需更換噴嘴閥密封
在250°C的LPCVD氮化物管式爐中超過400個晶園(6個月)
在300”C的氮化物工藝中,與硅相比,密封件的使用壽命增加四倍,粘附性降低
■與其他全氟彈性體相比,在金屬酸攻擊過程中具有雙耐久性
與130°C等離子焚燒爐門密封件中的硅膠相比,密封件的使用壽命增加10倍
在100°C濕化學泵應用中可提取的離子更少
用于液體顯示器加工的酸接合裝置的大型螺旋閥密封時間超過6個月
■在280°C擴散爐應用中的密封持續(xù)時間超過3個月
8個月的密封期(比競爭對手的自定義密封期高35%%6)為杜邦"卡爾雷茲三葉""在TEOS PE-CVD工藝中
■在等離子體焚化爐中使用Kalrez密封件實現雙重使用壽命
■與競爭對手的全氟彈性體在等離子焚燒爐淋浴間中的密封壽命相比,密封壽命長8至14倍(超過3個月)
在PECVD閘閥應用中,與競爭對手的全氟彈性體相比,密封件的使用壽命長一倍
使用CIF3清洗氣體在LPCVD中實現 性能(脫氣并產生更小的顆粒)
杜邦組件"“Kalrez@在其他 應用環(huán)境中提供更好的性能
航空和航天工業(yè)
杜邦卡爾雷茲組件的耐高溫性能使其成為航空航天應用的理想選擇?？柪灼?組件還能夠抵御航空航天中使用的侵蝕性流體的接觸,作為噴氣燃料,發(fā)動機潤滑油,液壓流體,火箭推進劑和氧化劑。
石油和天然氣
Kalrez”組件即使在鉆并最惡劣的條件下也能正常工作,在高壓和高溫下,酸性氣體和腐蝕性液體。導致膨脹的熱量,腐蝕性液體和有毒氣體會破壞其他材料的物理特性和密封性能。
在超過40年的現場經驗中,應用于:30多年來,Kalrez組件在以下應用中表現出色:
·托管包裝機
車載輔助發(fā)電機
為了滿足工業(yè)界對能夠承受更惡劣操作環(huán)境的材料的需求,已經開發(fā)出新一代的航空/航天工業(yè)材料。這些產品,杜邦公司"卡爾雷茲航空密封劑",提供出色的熱穩(wěn)定性和抗壓縮性,保持良好的密封強度。
閥座,框架,密封件,用于包裝機,申T型管,U型密封件,每列記錄裝置,定制形狀
杜邦系統(tǒng)"Kalrez°值莖包裝™風(KVSP)
定制解決方案-有限元分析(FEA)
有限元分析軟件提供單源分析能力。從設計新的鋼筋構造與同步分析到優(yōu)化槽幾何FEA提供 的靈活性,縮短產品開發(fā)時間,將創(chuàng)新解決方案推向市場。
快速交貨
標準0型圈和庫存部件可在48小時內交付,在提出請求和事先同意的情況下,在歐洲和北美的大多數目的地。欲了解更多信息,請聯系銷售代表和客戶支持。
任何想要的形狀
存在和可靠的分銷商網絡
卡爾雷茲組件。,可通過授權經銷商的廣泛網絡迅速提供,提供技術支持,幫助您解決您的房地產問題。有關授權經銷商的完整列表,請聯系杜邦。
·標準0形環(huán),尺寸為AS-568、Metric和JIS
TM 杜邦™卡爾瑞茲
全氟彈性體零件
用于光伏制造工藝
技術信息-2012年9月
提高運行時間..
提高吞吐量...
更低的擁有成本..
隨著對光伏系統(tǒng)需求的增長,制造商必須找到增加正常運行時間和提高產量的方法。通常,使用更激進和高效的化學品和/或更高的溫度來增加吞吐量;從而對制造基礎設施造成更大壓力。由于不兼容的密封材料導致的計劃外維護可能會干擾生產計劃,導致停機時間。因此,無論是基于晶圓還是薄膜工藝的密封材料,都應該具有廣泛的化學相容性和優(yōu)異的熱穩(wěn)定性。
杜邦“Kalrez全氟彈性體部件已在高度腐蝕性密封環(huán)境中進行了30多年的現場驗證。Kalrez部件有助于提高在光伏工藝中的密封可靠性,這些工藝使用高溫、腐蝕性化學品和等離子體。Kalrez密封件能夠抵抗超過1,800種化學品:包括反應性氣體和等離子體、堿、酸和溶劑。即使在接觸這些腐蝕性化學品的情況下,Kalrez密封件在高達325°C的溫度下仍能保持其彈性體特性。
杜邦 推出的密封產品,旨在提供 性選擇性干法工藝的升級選擇,優(yōu)于標準彈性體。W230提供了 的性能組合(對酸/堿的抗性),以及杜邦所期望的經過驗證的性能。™Kalrez°全氟彈性體部件。
在第2頁中,建議的 Kalrez產品可用于不同的光伏電池制造工藝以及多晶硅原料生產和減排系統(tǒng)。
光伏產品選擇指南
硅片基電池制造工藝
表面處理/清潔
卡爾雷茲W230
興奮劑卡爾雷茲PV8070
工藝類型
鋸片損傷去除表面處理和清潔
N-興奮劑
邊緣隔離
P 硅酸鹽去除
ARC涂層
其他工藝類型
多晶硅原料生產西門子技術
消減系統(tǒng)(“濕”洗滌器)
邊緣隔離
Kalrez®W23019100
P 硅酸鹽去除 Kalrez°
W230
ARC涂層Kalrezw230/9100
典型工藝環(huán)境
HF,稍酸,80°C濃統(tǒng)NaOH,KOH,IPA,HCI,熱水
850-900°C,氧化物噴射,原位氟酒洗
CF/02等離子體刻蝕
NaOH、KOH、HF、HNOHCI等SiH4,NHa,02等離子體PECVD或反應濺射,原位NF3等離子清洗
典型工藝環(huán)境
TCS CVD沉積1100°C,SiHCI,HCI,赫茲
強酸/堿
金屬化
建議的杜邦產品
Kalrezo W230
Kalrez® P8070
Kalrez® W230/9100*
Kalrez® W230
Kalrez® W2309100
建議的杜邦產品
Kalreze W230PV8070
餷週婎觫敲鬚柘ぱ征lrezo W230
測試分院
薄膜電池制造工藝
返回聯系方式
模式化激光雕刻
工藝類型
細胞層沉積/吸收器
Amorphous/Micro-CrystallineSilicon
CIS/CIGS。擴散
。Cds緩沖沉積
oCu(In,GA)濺射
·碲化鎘
o單側激活
o鎘蝕刻
oCds緩沖區(qū)沉積
TCO沉積/前接觸
細胞層沉積
產品見下文
圖案化激光書寫
TCO沉積見下文關于產品。
典型工藝環(huán)境
SiH4,Hz,等離子體PECVD,遠程NF3等離子清洗
500-550”C,氫硒,H2S擴散65°C溶于NH40H中的Cd和S鹽400-600℃,真空
400°C,CdClz溶于甲醇,濃H3PO4,硝酸65°C,鎘和硫鹽溶于NHOHZn0反應濺射二乙基鋅(DEZ)MOCVD
圖案化激光書寫
鐺凝措試分院
建議的杜邦產品
Kalrez8 W2309100*
Kalrezs W230PV8070*
Kalrez® W230Kalrez® W230
Kalrez® W230Kalrez® W230Kalrez® W230Kalrez® W230
Kalrezs W230VPV8070*
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杜邦Kalrez@W230光伏產品的推薦產品Kalrez°W230 全氟彈性體部件是一種黑色產品,適用于需要廣泛化學耐性的 PV 濕法和選擇性濕法制造工藝。W230提供了極好的性能組合(耐酸/堿),是PV濕法工藝的升級選擇,作為標準彈性體的替代品。建議 連續(xù)使用溫度為 230°C。杜邦™卡雷茲Kalrez°PV8070全氟彈性體部件是黑色產品,適用于需要高溫抗性的PV電池制造過程。它表現出優(yōu)異的耐熱穩(wěn)定性,并具有優(yōu)良的(低)壓縮變形和脫氣性能。它還具有良好的抗氯氣和氟氣以及其他干法工藝化學品的性能。KalrezPV8070具有優(yōu)異的機械強度性能,非常適合靜態(tài)和動態(tài)密封應用。建議的 連續(xù)使用溫度為325°C。短期游覽高溫地區(qū)也是可能的。
杜邦公司:卡爾雷茲9100Kalrez°9100全氟彈性體部件是一種琥珀色半透明產品,用于邊緣隔離、ARC涂層和要求耐氟等離子體的光伏電池制造工藝,包括非晶硅/微晶硅薄膜淀積。在基于氟的等離子體(如 NF3、F2)中,它表現出極低的重量損失和超低的粒子生成。它還具有優(yōu)異的耐干法化學性,并具有優(yōu)異的熱穩(wěn)定性、壓縮設定和排氣性能。Kalrez°9100具有良好的機械強度特性,非常適合靜態(tài)和動態(tài)密封應用。建議的 連續(xù)使用溫度為300°C。
杜邦公司™卡萊茲全氟橡膠零件
半導體工業(yè)中的等離子體過程
杜邦"Kalrez*全氟彈性體部件已在高度腐蝕性密封環(huán)境中成功使用超過40年。Kalrez*部件具有優(yōu)異的化學和熱穩(wěn)定性并經過特別配方和加工,以滿足晶圓處理環(huán)境的獨特要求。杜邦Kalrez密封件提供標準尺寸和定制尺寸的0形環(huán),以及滿足等離子體環(huán)境中品圓處理嚴格要求的可定制形狀。在半導體行業(yè)使用的所有Kalrez°}產品都采用專有超凈工藝和潔凈室處理作為標準。
等離子體過程的產品選擇
下表為根據生產工藝類型選擇 Kalrez%要件提供了一個快速簡便的工具:
工藝類型
HDPCVD
PECVD /PEALD
PECVD固化工藝
SACVD /FCVD
導體(聚合物/金屬)蝕刻
介電(氧化物)蝕刻
灰燼/碎屑
使用溫庶
250°C至300°C
275°C至310°C
150°C至200°C
280°C至300°C
150°C至225°C
100℃C至180°C
180°C至250°C
典型化學品
TMS,DEMS,TEOS,SiH,,NH,SiF4,0,,N,O,CF,NF
TMS,DEMS,TEOS,SiH,
NH,SiF,O,N,O,CF.NF
05+紫外線
TEP,TEBO,TEOS,O,NF,NH,
CF4,CHF,,HBr,BCL,CCLZ,CL
NF
CF ,CF CHF SF .O..H
O,,CF,CHF,NH,,水
蒸汽,H“形成氣體
建議產品
Kalrez”9100/9500
Kalrez*9600
Kalrez*87052
Kalrez°9500
Kalrez”9500/9600
Kalrez*9100/9300
卡爾雷茲9300
Kalrez*9300/8002
當前Kalrez@產品適用于等離子體應用
卡爾雷茲9600Kalrez°9600 部件專為高純度、高溫真空應用而設計,在這些應用中,密封件會暴露在具有破壞性的氟和氧等離子體自由基中。它具有極低的等離子體攻擊侵蝕率和重量損失,對氨、臭氧和水蒸汽具有良好的化學抗性。它在壓縮時的 彈性和在高溫條件下的超低出氣率使其特別適用于純度至關重要的應用,如等離子體增強原子層沉積和化學氣相沉積工黨
Kalrez*9500Kalrez® 9500 部件專門針對使用臭氧、氨和水蒸氣進行加工的沉積工藝而設計,例如SACVD、FCVD、PECVD 固化工藝等。它專門設計用于等離子體環(huán)境更“化學”的應用,即氧和氟原子基更占優(yōu)勢的應用。Kalrez°9500還具有出色的熱穩(wěn)定性、極低的氣體逸出和優(yōu)異的機械強度,非常適合靜態(tài)和動態(tài)密封應用。
卡爾雷茲”9300
Kalrez@9300 部件專為介電(氧化物)蝕刻應用而設計。它特別設計用于等離子體環(huán)境為離子(“物理”)和自由基(“化學”)組合的應用,即通常需要平衡“物理”和“化學等離子體耐蝕性的應用。Kalreze9300 表現出對氧和氟基等離子體和蝕刻工藝化學的出色耐性。它還具有非常低的金屬含量、優(yōu)異的熱穩(wěn)定性和機械強度,非常適合靜態(tài)和動態(tài)密封應用。
卡爾雷茲”9100Kalrez®9100部件專門針對 PECVD、ALD、HDPCVD 和導體(聚/金屬)蝕刻應用而設計Kalrez®9100 專門設計用于惡劣等離子體環(huán)境中的低磨損和超低粒子生成。它提供優(yōu)異的耐熱穩(wěn)定性、非常低的氣體逸出以及優(yōu)異的彈性恢復和良好的機械強度特性,非常適合靜態(tài)和“選擇”動態(tài)密封應用。
卡爾雷茲”8002Kalrez°8002部件是用于灰/帶應用的透明產品。與礦物填充產品相比,這種未填充的產品在氧氣和氟化物基等離子體中具有優(yōu)異的抗等離子體開裂性能和極低的粒子生成。Kalrez8002表現出優(yōu)異的干法化學抗性,具有良好的機械強度,非常適合靜態(tài)、低應力/低密封力以及“選擇”粘合門密封應用。
卡爾雷茲*8705Kalrez®8705 全氟彈性體部件主要設計用于常規(guī)光源或等離子體發(fā)出的高能紫外線(UV)輻射的直接路徑中的密封位置。它們還具有良好的抗高濃度破壞性自由基的能力,以及在高溫真空應用中的 密封功能。它們極低的粘附力使其成為密封石英表面的理想選擇,如紫外線固化室中的石英窗和光致抗蝕劑帶設備中的石英管,不會留下不想要的殘留物。
杜邦公司™卡萊茲全氟橡膠零件
半導體工業(yè)中的熱過程
杜邦™Kalrez°全氟彈性體部件已在高度腐蝕性密封環(huán)境中成功使用超過40年。Kalrez的部件具有優(yōu)異的化學和熱穩(wěn)定性,并經過特別配方和處理,以滿足晶圓處理環(huán)境的獨特要求。杜邦Kalrez)密封件提供標準尺寸和定制尺寸的0形環(huán),以及定制形狀,以滿足熱環(huán)境中品圓處理的高要求。在半導體行業(yè)使用的所有Kalrez)產品均采用專有超凈工藝和潔凈室處理作為標準。
熱過程產品選擇器
下表為根據生產工藝類型選擇 Kalrez®要件提供了一個快速簡便的工具:
工藝類型
ALD/LPCVD/金屬CVD
氧化/硝化/擴散
燈退火 /RTP
晶圓表面制備
使用溫度
250°C至300°C
280°C至300°C
250℃C至275°C
200°C至275°C
典型化學品
WF,TiCL,SIHHF,F.CL,O,HO蒸汽,CIF,
NO..H 0Vapor,HCI,CL,O,
紅外光、0、H、O蒸氣
NF.NH, HF, F,H,
建議產品
Kalrez*8900/7075UP
Kalrez 7075UP/8900
卡爾雷茲’8575
卡爾雷茲”9500/9600
1請咨詢Kalrez°應用指南和/或您的Kalrez"代表,以評估性能是否適合您的具體應用
熱過程的典型應用:
石英室密封件
愨使鐮柄劇躁戯鉦莉
中心環(huán)
低介電固化工藝
當前Kalrez°產品適用于熱應用
卡爾雷茲”8900Kalrez“8900”部件適用于氧化、擴散、ALD和LPCVD應用。它提供 的耐熱穩(wěn)定性、非常低的析氣率和優(yōu)異的(低)壓縮回彈特性。Kalrez*8900}部件在高溫下表現出優(yōu)異的物理性能保持能力,具有優(yōu)異的機械強度,非常適合靜態(tài)和動態(tài)密封應用。
叢黃聶標脩鍆嗒棲廡棛霊睪?ма37390901002412011D14115010138 280 150
Kalrez”8900 零件:非常低的外形與兼容的 FFKM 產品相比
卡爾雷茲”8575
Kalrez®8575部件適用于氧化、擴散、燈退火和實時傳輸協(xié)議密封應用。Kalrez°8575具有優(yōu)異的耐熱穩(wěn)定性和長期密封性能,紅外(IR)吸收少,在高溫下排氣性能顯著降低。它還具有良好的機械性能,適用于靜態(tài)和低應力/低密封力應用。
Kalrez”7075UPKalrez°7075UP 零件專門用于金屬 CVD 應用。它們具有出色的熱穩(wěn)定性、極低的析氣率和優(yōu)異的壓縮回彈特性。Kalrez°7075UP表現出優(yōu)異的密封力保持能力,具有良好的機械性能,非常適合靜態(tài)和動態(tài)密封應用。
Kalrez*8575 部分
超純后清潔和包裝是所有由Kalreze7075UP制造的零件的標準配置,
Kalrez* 7075UP O型圈
Kalrez 9500Kalrez@ 9500 部件專門針對使用臭氧、氨和水蒸氣進行加工的沉積工藝而設計,例如SACVD、FCVD、PECVD 固化工藝等。它專門設計用于等離子體環(huán)境更“化學”的應用,即氧和氟原子基更占優(yōu)勢的應用。Kalrez"9500還具有出色的熱穩(wěn)定性、極低的氣體逸出和優(yōu)異的機械強度,非常適合靜態(tài)和動態(tài)密封應用。
Kalrez" 9500件基于專有的交聯系統(tǒng)
該系統(tǒng)僅由杜邦提供。
Kalrez 9600Kalrez®9600 部件專為高純度、高溫真空應用而設計,在這些應用中,密封件會暴在具有破壞性的氟和氧等離子體自由基中。它具有極低的等離子體攻擊侵蝕率和重量損失,對氨、臭氧和水蒸汽具有良好的化學抗性。它在壓縮時的 彈性和在高溫條件下的超低出氣率使其特別適用于純度至關重要的應用,如等離子體增強原子層沉積和化學氣相沉積工藝。
Kalrez° 9600 0型園
杜邦公司”卡爾雷茲
半導體硅片加工用彈性密封件的泄氣特性
技術文獻-在AVS研討會上的論文,2009年11月
大多數集成電路制造工藝都在高真空或超高真空規(guī)定的范圍內對于確保 工藝效率、均勻性和一真空泵是維持足夠真空水平以進行加工的主要機制方面可以發(fā)揮作用。更重要的是控制腔室內工藝環(huán)通常可以補償由于密封放氣引起的真空水平變化成分的潛在有害變化。由于放氣引起的腔內分壓變云壓過程中的質量問題。
一般來說,人們普遍認為彈性體比金屬更容易逸出氣體。在許多超高真空系統(tǒng)中,使用金屬密封件來避免這個問題。然而,金屬密封件并不總是有效和/或實用。使用金屬密封件的一些困難包括:
安裝困難
昂貴
Non-reusable
動態(tài)應用中的密封性能較差
石英和陶瓷密封應用中部件損壞的可能性
因此,真空系統(tǒng)設計師和工藝工程師了解彈性密封件的脫氣特性非常重要。目前,沒有行業(yè)標準來測量和表征彈性密封件的脫氣性能,可用的有用數據有限。
本研究通過杜邦開發(fā)的一種測試方法,評估和比較了三種不同類別的彈性密封材料在半導體工藝環(huán)境中的析氣特性。表1列出了評估的產品/材料。
表1.評估的材料
彈性體分類
全氟橡膠
全氟橡膠
氟橡膠
硅酮
參考文獻識別
杜邦公司™ Kalrez°8900
杜邦公司™Kalrez°8475
FKM-K7
VMQ-T1
聚合物類型
TFE/PMVE
TFE/PMVE
VF?/HFP
甲基二硅氧烷
填充系統(tǒng)
碳黑
二氧化硅/金屬氧化物
系統(tǒng)
雜環(huán)
雜環(huán)
碳黑
二氧化硅
雙酚
有機過氧化物
*FKM 和 VMO 是ASTM 標記的彈性體類別。K7和T1是杜邦內部參考。
開發(fā)的測試方法和相關設備使用殘留氣體分析儀(四極質譜儀的一類術語)來評估彈性體的脫氣性能其他用于脫氣分析的測試方法/分析設備有時是TGA-FTIR或質譜法,以及頂空GC質譜法。雖然這些技術很有用,但它們有一些局限性和缺點。表2比較了每種測試方法的能力。
表2.排氣試驗方法比較
測試能力
真空下的測量
溫度控制
民進黨方法RGA/QMS*
是的,特高壓”
可編程的
分析溫度330“C氣體種類分析方法(帶電子倍增器)質量管理體系
定量結果
總排放速率(噸·升/秒/厘米2)
TGA-FTIR/MS熱
重分析
不,1臺自動取款機
可編程的
1000“C
MS或FTIR
體重減輕百分比
HS-GC/MS頭空
間氣相色譜法
不,1臺自動取款機
等溫的
230“C
GCIIMS
難以獲得(需要昂貴的校準)
超高真空,1x10&torr"QMS=Quadrupole Mass Spectrometer
杜邦測試方法的主要優(yōu)點是在代表典型半導體工藝的環(huán)境中獲得定量放電數據的能力。
本文介紹了杜邦開發(fā)的測試方法,比較了三種常用彈性體(表1)的脫氣數據,并討論了這些數據如何用于協(xié)助設備和工藝工程師。測量和比較的特征包括總脫氣率作為溫度的函數和給定溫度下的總脫氣率作為時間的函數。此外,該方法和設備允許分析/監(jiān)測與每種速率測試中的物質質量電荷比(M/z)相關的特定氣體物種。
2.0實驗程序
杜邦開發(fā)的協(xié)議涉及設備和測試方法,能夠測量彈性體在類似于典型半導體加工應用條件下的脫氣特性。它允許確定總脫氣速率與時間和溫度的關系,并在真空下監(jiān)測樣品釋放的特定氣體種類。
由于彈性體通常是根據其化學耐性和熱穩(wěn)定性與使用要求的組合來選擇的,因此初始測試比較了每種材料在溫度增加時的脫氣特性。在這些測試中,很明顯有必要在兩個階段測量脫氣率與溫度的測試。在初始加熱階段(從約50°C到>300C),一些材料脫氣,使得腔室內的局部壓力增加到>1x10 4托。 在這種偏壓下,無法使用能夠提高離子電流/氣體種類檢測靈敏度的電子倍增器。
此外,由于評估的三種材料中有兩種通常不建議在高于約200°C的情況下連續(xù)使用,因此分兩階段進行了脫氣特性測試。 階段測試在約50°C至200°C的范圍內進行。在真空下冷卻至約50°C后, 階段在同一樣品上從約50°C至330°C進行。采用這種方法可以更準確地監(jiān)測(并更全面地了解)脫氣機制。圖1顯示了脫氣測試設備。
圖1.殘留氣體分析器/排氣試驗設備
2.1樣品的制備
AS568A尺寸為214的0形環(huán)與表1中列出的每種材料相對應。每個0形環(huán)都被稱重。然后收集0形環(huán)的1/16部分,用于評估。在樣品制備過程中,注意避免可能的污染,因為處理可能會影響放氣結果。將樣品放入石英舟中,然后將石英舟放入石英樣品管中(見圖2)。
2.2測試設備的設置與運行
在對任何彈性體樣品進行評估之前,系統(tǒng)通過允許其泵壓兩周左右來調節(jié),以確保系統(tǒng)清潔且無污染物。關閉閥門#2后,使用渦輪分子泵(TMP)泵壓至約2x10°托。在進行出氣測試之前,將真空保持在這一水平12小時。初始調節(jié)后,TMP連續(xù)運行,直到測試完成。在閥門#2仍然關閉的情況下,將包含樣品的石英管緊固到位。使用一個Conflat密封件銅金屬密封件)來確保任何氣體逸出都只來自評估樣品。一旦石英管就位,打開閥門#3并使用干泵將石英樣品室抽至1x10"托爾的真空水平。
2.3 定量和定性排氣測量與表征2.3.1.脫氣速率與溫度的關系( 階段)-通過關閉閥門#3并打開閥門#2,系統(tǒng)被允許平衡(P1=P2~1x107托)。離子計1和離子計2(真空室)之間的真空管線具有0.0005升/秒的傳導系數。使用此傳導系數,脫氣流量的計算如下
Q=C(P2-P1),其中
Q=氣體流量(轉/升/秒)
C=導電系數與管徑和長度成正比=.005升/秒。
P2=離子計2處的壓力讀數(扭矩)
P1=離子計#1處的壓力讀數(扭矩)
由于樣品以受控速率(1°C/min)加熱,從彈性體中逸出的氣體導致P2發(fā)生變化,從而計算出產生的流量。將產生的流量除以評估樣品的表面積,得到每平方厘米表面積逸出流量(托-升/秒/平方厘米),將流量繪制成與石英管溫度的關系圖,間隔20℃。石英管加熱器升至200℃℃。在閥門#2仍然打開的情況下,樣品被允許冷卻至約50°C,并在夜間保持該溫度。
2.3.2 析氣速率與溫度的關系( 階段)-在樣品冷卻過夜后,重復該步驟;然而將溫度以2°C/min的速度升至330°C。在此期間,計算并繪制了析氣速率與石英管溫度的關系圖。
2.3.3 在指定溫度(275°C)下的析氣速率與時間-對于此測試,按照第2.1節(jié)所述制備新樣品。重復第2.3.1節(jié)所述的順序;然而,將溫度以4°C/min的速度升至275°C,并在275°C下保持21小時。在此期間,計算析氣流量并繪制與時間的關系圖。
2.3.4析出氣體的定性和半定量分析---在第2.3.1至2.3.3節(jié)概述的每一次放氣速度試驗中,均使用四極質譜儀對析出氣體進行分析。根據適當的電荷質量比(M/z),繪制了選定氣體種類的相對強度與溫度或時間的關系圖。這與每種材料的排氣速率曲線相結合,提供了一種半定量的測量方法,并對演變的氣體種類進行了比較。雖然可以監(jiān)測所有產生的氣體種類,但只監(jiān)測并繪制了通常與吸收/產生的大氣氣體(H20、02、N2/CO和CO2)逸出相關的氣體種類,以及與交聯或熱分解相關的氣體復合物。對于測試的全氟彈性體和氟彈性體,這些是HF、CF2H、CF3和C2F3;對于硅樣本,這些是(CH3)3-Si和(CH3)3-Si-0-Si-(CH3)3.
用于分析的質諾儀的規(guī)格如下:
制造商:
型號:
纖維類型:
大規(guī)模分解:
探測器:
敏感性:
最小可探測部分壓力:
安爾瓦M-QA100TS鎢M/delta M2M
CEM(電子乘數)
3.8 A/Pa(CEM)用于N2
1堪.0 E-12 Pa
相對離子強度數據以對數尺度繪制。從數據中進行了許多觀察,以幫助理解每種材料的速率性能差異以及導致這種差異的氣體物種的身份。
在所有監(jiān)測的氣體種類中,M/z=18(H20)對每種材料的振幅度 。隨著溫度的升高,杜邦的H20離子強度"Kalrez°8475和FKM-K7比杜邦高出一個數量級Kalrez°8900和VMQ-T1。這似乎是造成排氣速率差異的主要原因。
按離子強度順序排列的下一組氣體包括吸收/進化的大氣氣體(N2,02,CO,二氧化碳
離子強度 的氣體與熱降解有關。這些氣體是全氟橡膠和氣橡膠的HF和CF絡合物,以及硅酮的CH3-Si絡合物。
數據顯示,所有測試的材料類別都會吸收大氣中的氣體(主要是水分),這些氣體會在加熱時逸出。它還表明,同一材料類別(Kalrez°8900和8475)的逸出性能可能會受到配方/混合差異的影響。
3.2 階段排氣(50°C至330°C)
圖10顯示了圖9顯示了所有四種材料在 階段的總放氣速率與溫度數據。為了比較,目使用與圖9中 階段數據一致的垂直刻度重新繪制的 階段速率數據。
關于 階段結果以及 階段和 階段之間關系的意見和評論是:
·在 次加熱上升周期中,所有四種材料的析氣速率保持非常低且平穩(wěn),直到達到約200°C。這表明,一旦材料暴露在特定溫度下并在真空中允許析氣,其性能將保持穩(wěn)定,直到引入更高溫度以引發(fā)進一步反應。從200°C到330℃,杜邦"Kalrez®8900和 8475 的析氣率 ,而VMQ-T1和 FKM-K7 的析氣率顯著增加。這符合與標準氟橡膠和硅酮相關的公認的熱限制。
· 階段和 階段的速率曲線比較表明,在大約200°C時,Kalrez°8475}和VMO-T1的速率性能之間存在交叉點。Kalrez°8475}以乎表現出較高的初始脫氣,這可能是因為其填料系統(tǒng)的吸濕性更強。然而,隨著溫度的升高,VMQ-T1的熱限制導致其以比Kalrez° 8475}更高的速率脫氣。
圖11、12、13和14分別顯示了Kalrez°8475、Kalrez°8900、FKM-K7和VMQ-T1的選擇性離子強度數據。
在惡劣環(huán)境中穩(wěn)定
專業(yè)密封設計用于關鍵任務應用。
O-rings made with high-performance Kalrez®.
從航空航天和化學工業(yè)到芯片制程以及油氣應用,杜邦™ Kalrez® 彈性體旨在提供更高的穩(wěn)定性,更高的抵抗力和更有效的密封。周期。
盡管杜邦沒有發(fā)明 O 形圈或特種密封膠,但它在創(chuàng)新和發(fā)展方面已有 40 年的歷史,創(chuàng)造出可承受 挑戰(zhàn)性的工作環(huán)境的密封膠。
除了其清潔度和純度外,Kalrez®聚合物分子鏈被設計為最惰性的聚合物結構之一,可耐受 1800 多種不同的化學物質,同時提供高溫穩(wěn)定性。
Kalrez®全氟彈性體是按照 質量標準制造的。每個部件都有記錄的可追溯性,并且這些部件具有行業(yè)內最長、最可預測的使用壽命之一。
Kalrez®零件經過長期驗證性能可以減少密封件的更換,維修和檢查的頻率,增加了過程和設備的正常運行時間,從而提高生產率和良率。
用途
泵、反應釜和法蘭接頭的密封與 O 形圈
閥桿填料系統(tǒng)
用于航空航天、石油和天然氣設備、運輸和化工的高性能零件
生命科學應用
半導體加工
光伏制造密封件
食品接觸材料
優(yōu)勢
耐受 1800 多種化學物質
高達 327°C 高溫耐受性
保持密封完整性
降低維護和運營成本
密封壽命長
符合藥品和食品加工安全標準
提供標準和專用化合物,供定制使用
杜邦Kalrez®CP222全氣彈性體零件是用于獨特定制形狀或高產量應用的 產品。Kalrez°CP222零件提供 的化學穩(wěn)定性和機械性能,并延續(xù)了杜邦提供高價值全氟彈性體零件以延長平均修復間隔時間(MTBR)的傳統(tǒng)。
除了高流量0形環(huán)應用外,Kalrez°CP222}可以在各種定制幾何形狀中制造,這些幾何形狀曾經是全氣彈性體無法企及的?，F在,Kalrez®}部件可以設計成適合復雜的新設備,或者可以作為現有應用的性能升級。
Kalrez°CP222通過提供具有獨特型材和光滑表面處理的要件,拓展了定制全氟橡膠要件的可能性。
耐化學性
對于許多應用來說,彈性體的低體積膨脹對于設備的正常運行至關重要。過度的膨脹可能會導致由于密封失效和潤滑液體的泄漏而導致設備過早停機。體積膨脹是性能的良好預測指標;然而,還需要進行其他物理性能測試來進一步定義產品性能。
以下化學品代表了行業(yè)中一些 性的應用。這些測試結果表明了性能;然而,所有應用都是獨特的,強烈建議在實際工藝流體中進行浸沒測試。
杜邦公司™卡爾雷茲粘合門密封件
密封設計+材料性能=更高的晶圓產量+更低的擁有成本
技術信息一2010年7月 0版
用于閘閥和狹縫閥門的密封門封提供了比傳統(tǒng)0型圈更好的密封性能,通過減少顆粒生成、延長密封壽命和在預防性維護期間減少更換時間。
杜邦™“Kalrez°粘合門密封件設計簡便,顆粒產生量低。它們結合了定制密封設計和專有的粘合技術,以及Kalrez°9100,8002和KalrezSahara8085的出色的等離子體阻力。與傳統(tǒng)的0形環(huán)相比,密封件保持在“固定位置,從而消除了門驅動過程中的“滾動/扭動”。此外,密封設計已優(yōu)化使用有限元分析(FEA),以盡量減少局部應力的高濃度。因此,與傳統(tǒng)的0型環(huán)相比,顆粒生成和密封性能顯著提高。Kalrez粘合門密封件可在Kalrez®9100、8002和Kalrez®Sahara中使用。"8085*用于蝕刻、灰化/剝離、HDPCVD、PECVD、SACVD、金屬CVD和ALD芯片加工應用。
典型應用
閘閥、狹縫閥門和其他類似部件目前采用0形密封圈或燕尾密封。
與傳統(tǒng)0型圈相比,顆粒產生更低,密封壽命更長·密封元件保持在“固定”位置,即在使用中消除“滾動/扭曲”·Kalreze9100,8002和KalrezeSahara"8085用于最小化反應等離子體中的粒子生成
·超純后清洗和包裝可減少不必要的污染
改進的密封性能-一 設計可 限度地減少高濃度的局部應力
與0型環(huán)密封在預防性維護期間相比,更換時間更短
·快速便捷地組裝/拆卸到安裝支架減少0型圈密封件常見的安裝問題
在預防性維護過程中無需清潔密封蓋
包裝上的條形碼加上封門密封件編號,以及刻在商業(yè)上可獲得的封門密封件背面的Kalrez產品編號,保持可追溯性和識別性,并確保它是一個Kalrez全氟彈性體部件(FFKM)。
有效杜邦™Kalrez° 鍵合門封適用于大多數半導體 OEM 設備平臺。此外,可以為大多數閘閥和狹縫閥門封應用開發(fā)定制的 Kalrez° 鍵合門封。超純后清洗和包裝是所有 Kalrez° 鍵合門封的標準。請聯系杜邦高性能彈性體應用工程師或授權的 Kalrez°分銷商,了解特定尺寸的可用性。
在Fab生產線上得到證明的性能
案例報告#6376-歐洲制造線,PECVD增值稅MONOVAT保稅門申請工藝化學:三甲基硅烷(TMS)、氧氣
清潔化學:通過遠程等離子體源進行NF3等離子·客戶報告的結果:在處理超過55,000對晶圓后,沒有報告Kalrez°9100VATMONOVAT*密封門性能問題?，F有的VAT MONOVAT*密封門(具有競爭力的FFKM F4)在顯示顆粒生成之前僅使用了30,000對晶圓。
案例報告 #7174-美國Fab線,綜合ALD/鎢合金CVD縫隙閥門密封應用工藝化學:WFS,SiH4,H2,N2,Ar
清潔化學: NF3 等離子體“原位”生成
·客戶報告的結果:客戶能夠使用Kalrez°9100粘合狹縫閥門密封件將PM周期從6,000片晶圓延長至10,000片晶圓。由于密封壽命不一致,且由于顆粒生成而過早更換,現有粘合狹縫閥門密封件(競爭性FFKM A11)的PM周期設定為6,000片晶圓。
案例報告#7153-日本FabLine,HDPCVD縫隙閥門密封應用工藝化學: SiH4,02,He
·清潔化學:通過遠程等離子體源產生 NF3 等離子
客戶報告的結果:Kalrez°8002 鍵合狹縫閥門密封件在大約20,000個晶圓中持續(xù)運行,沒有報告任何性能問題現有密封件(競爭性FFKM A11)在顯示真空泄漏之前僅持續(xù)12,000個晶圓(1個PM周期)。
案例報告#7640-日本FabLine,HPDCVD縫隙閥門密封應用Process chemistry:SiH4,02,He,Ar,H2
清潔化學: NF3 等離子體
·客戶報告的結果:Kalrez®8002}粘合式狹縫閥門密封件在15,000個晶圓周期內沒有報告任何性能問題?，F有密封件在顯示顆粒生成和真空泄漏之前僅使用了10,000個晶圓。
案例報告#3786-歐洲Fab線,SACVD縫隙閥門密封應用
過程化學:TEOS,03,TEBO,TEP
客戶報告結果:Kalrez° 撒哈拉"“8085鍵合狹縫閥門密封在超過30,000個晶圓周期內沒有報告任何性能問題?，F有的鍵合狹縫閥門密封(具有競爭力的FFKM A11)在出現粒子生成之前僅持續(xù)了10,000個晶回循環(huán)
案例報告#7262-歐洲 Fab Line,SACVD MONOVAT®粘合門密封應用·過程化學:TEOS,03,TEBO,TEB
·客戶報告結果:沒有報告與KalrezeSahara}相關的性能問題"8085 VAT MONOVAT@在處理96000對晶圓后綁定門?，F有VATMONOVAT@綁定門(具有競爭力的FFKMA18和F4)在出現粒子生成和真空泄漏之前僅能承受30,000對和60,000對晶圓。
案例報告#5791-馬來西亞Fab線,HDPCVD縫隙閥門密封應用·工藝化學:SiH4,02
清潔化學: NF3 等離子體
·客戶報告結果:Kalrez°撒哈拉"8085鍵合狹縫閥門密封在12,000個晶圓中持續(xù)運行,沒有任何性能問題報告。
現有的鍵合狹縫閥門密封(具有競爭力的FFKM A18)在出現裂紋之前僅運行了6.000個晶圓。
案例報告#8729-美國Fab生產線,鎢CVD縫隙閥門密封應用
杜邦™ 卡萊克斯
全氟彈性體成分
在化學和環(huán)境苛刻環(huán)境下的可使用性和持久性
您可信賴杜邦密封解決方案"即使在最苛刻的工藝環(huán)境中
旨在提供 性能
40多年來,杜邦致力于改進全氟彈性體元件的生產。彈性體元件通常由三個元素組成:聚合物鏈(彈性體的主要鏈),交聯系統(tǒng)(將聚合物鏈連接在一起,對彈性和密封性至關重要)和加載系統(tǒng)(用于提高機械性能)。由于其長期的經驗,杜邦將這三者結合在一起,提供 密封性。
減少揮發(fā)性持放物
Kalreze解決方案KalrezValveStem Packing系統(tǒng)有助于減少揮發(fā)性廢物的損失和排放,從而提高環(huán)保法規(guī)的合規(guī)性。通過保持完整的密封性,Kalrez組件降低了違反環(huán)境法的風險。
生產過程的純凈性
Kalrez組件有助于避免工藝污染:
.Resistendo alla degradazionea contatto con sostanzechimiche aggressive;
更低的維護成本
杜邦組件™Kalrez有助于增加平均維修時間(MTBR)并降低維護成本。它們的耐用性 限度地減少停機時間非編程機器,可延長常規(guī)檢查和關鍵部件維修周期之間的時間。
*Mantenendo la forza di tenuta allealte temperature.in modo da ridurre
le perdite;
*Contenendo meno ingredienti che
vengono estratti nel processo;
Limitando il degassaggio nelle tenutesottovuoto:
更高的生產力
通過降低更換頻率,密封件的修理和檢查,增加工藝和設備的服務時間,提高生產力和產量。
更大的安全性
與其他彈性體相比,使用壽命更長,性能更好,Kalrez有助于降低由于密封件失效而導致的化學污染風險。
*Soddisfacendo le norme FDA piùsevere riguardanti purezza e igiene
通過IS0 9001認證和可追溯4
Kalrez"組件僅由杜邦制造,完全集成的組件和模具制造商Vespel°,氟彈性體Vitone聚合物在合成橡膠氯丁橡膠,以及全氟彈性體組件。Kalrez組件在通過ISO 9001質量認證的工生產,并以帶有條形碼的信封銷售,以確保完全可追溯性。
杜邦公司™Kalrez®為您的應用需求提供各種產品
杜邦產品線"“Kalrez專為在苛刻的工藝環(huán)境中提供優(yōu)異的性能而設計。由于其高耐酸性,胺,超純去離子水,堅固的基礎和高溫,Kalrez產品是任何應用的理想解決方案。制造商可以提高其操作環(huán)境中的密封性能。
在食品和制藥行業(yè)的純度
關于食品和制藥行業(yè)的法規(guī)要求更高的關注和更嚴格的指導方針。產品安全。用于制藥應用的Kalrez“組件確保與樹脂的清潔性和化學惰性是真正的彈性體。其熱性能和化學性能與橡膠相似。a.Kalrez為制藥行業(yè)提供新的保護水平,防止污染和泄漏。a。
使用高溫的工藝中密封的可靠性,攻擊性化學物質和等離子體,
其他關鍵應用
由于對燃料的耐受性非常強添加劑潤滑劑;腐蝕性化學品和高溫,Kalrez組件已經在航空航天鉆井應用中使用,如今在最苛刻的環(huán)境中是 。不允許有密封泄漏的地方
在化學和碳氫化合物加工中耐化學品和高溫
在目前的化學和碳氫化合物加工設施中,在較高溫度下進行,使用更長的時間,并且涉及更具侵略性的產品。為了縮短平均維修時間(MTBR)并提高安全性,Kalrez組件是 。長期以來,工業(yè)標準是杜邦"“Kalrez4079但日益增長的生產需求導致了更高性能的產品開發(fā)。今天,杜邦產品家族"卡爾需茲頻譜"擴展Kalrez”4079組件的化學和熱性能,以 滿足這些應用的規(guī)格。
電子產品
這些組件有助于降低晶圓加工的總運行成本,光伏面板和液晶顯示器設備的制造工藝,提供更長的保質期和延長平均維修時間。不兼容的保質材料導致的非計劃維護可能會干擾生產計劃,導致機器停止。Kalrez”組件可以幫助改善
杜邦公司™^Kalrez®提供最廣泛的化學抗性
對超過1800種化學物質具有 的抵抗力
杜邦全氟彈性體部件""Kalrezh具有幾乎普遍的化學抗性。抵抗超過1800種化學物質的侵襲,溶劑和等離子體。常規(guī)使用Kalrez產品對于需要廣泛的耐化學性的所有應用,不再需要將不同的產品存放在倉庫中,從而降低庫存成本。
最小膨脹量
化學物質引起的膨脹可能導致O型圈和由其他輪胎制成的密封部件從密封槽外膨脹,最終導致密封件松動。Kalrez°組件在暴露于各種產品時,可承受顯著的膨聯
化學品和溶劑,包括濃縮的硝酸氫氧化鈉,乙二胺和蒸汽。
優(yōu)化化學阻力和密封性能
為了在特定應用中 限度地提高密封性能,杜邦不斷開發(fā)新產品以滿足新的需求。在化學品和碳氫化合物加工領域,杜邦Kalrez@Spectrum產品系列"提供更高的耐化學性和更高的熱穩(wěn)定性。這種組合為公司提供了更大的操作空間,用于其他化學用途和更高的熱傳遞。有關Kalrez組件的化學兼容性更具體的信息,請聯系請參閱杜邦的“耐化學性指南”或Kalrez應用指南,兩者都可以在我們的網站上找到,或聯系Kalrez部件的授權經銷商
杜邦公司"“Kalrez®在高溫應用和工藝中表現優(yōu)異
工作溫度高達327°C
即使長時間暴露在高達327°C的溫度下,杜邦組件"Kalrez@比其他可用于高溫應用的彈性體更好地保持其彈性和恢復性能。這些特性,加上幾乎普遍的化學抗性,它們使Kalrezdi組件能夠在非常廣泛的工藝環(huán)境中運行。
保持密封性能
正如ISO3384測試所證明的,Kalrez組件在保持密封強度方面優(yōu)于其他彈性體,密封壽命的衡量標準。即使在惡劣和苛刻的條件下,i組件Kalrez更長時間保持其密封強度。此外,由于具有與真橡膠相當的彈性,i組件Kalrez@防止由塑料流動引起的泄漏,聚四氟乙烯(聚四氟乙烯)有一個更大的問題。
壓縮套件已更換
Kalrez@組件具有較小的壓縮集,特性保證了長期 的密封性。由于Kalrezhan組件在壓縮下比其他全氟彈性體更好的恢復,即使在長時間受力的情況下,它們也能更好地保持形狀。
杜邦公司™Kalrez®在涉及化學品和碳氫化合物的最苛刻工藝中,延長了平均維修時間和維護壽命
杜邦KalrezKVSP減少揮發(fā)性排放物并改善過程控制
Testato fino alla classe 600 secondo ANSl/FC191-1-1994
*Certificato secondo le norme TA Luft*Confo airequitidoma crettNa sumeattrezzature a presslone PED9T/23/EC
Kalrez”確保用于加工化學品和碳氫化合物的密封件的使用壽命
在泵、閥門、機械密封或分析設備中杜邦部件"“Kalrez年復一年地證明了其品質。其對 侵蝕性的化學品和高溫的高耐性使其能夠抵抗膨脹和脆化,密封過早失效的主要原因之一。無論是O形圈,定制或系統(tǒng)形式閥桿包裝,i組件Kalrez”提高生產力,限制揮發(fā)性排放物并減少昂貴的密封泄漏4
減少摩擦與系統(tǒng)Kalrez閥桿包裝KVSP™
在手動和自動控制中,使用杜邦"卡爾雷茲®KV SPT杜邦Vespel支撐部件的V形環(huán)Kalreze組合物,可承受高達288°C的溫度,可提高閥門性能,降低維護成本并限制揮發(fā)性排放量至10 ppm以下。KalrezKVSP™無需維護,是石墨和聚四氟乙烯密封系統(tǒng)的替代品。
減少摩擦,Kalrez°KVSP提高了過程控制的可變性,提高產量和產品質量。摩擦數據表明,Kalrez?KVSP™提供與PTFE密封系統(tǒng)類似的性能。由于它們不需要對閥門進行修改,安裝后很少需要調整,卡爾雷茲KVSPT“在閥門性能方面是一個重要的更新。
杜邦公司"“Kalrez°確保制藥過程的完整性和純度
其結合了熱性能和化學性能以及類似橡膠的密封性能,杜邦組件"Kalrez8為制藥行業(yè)提供了新的保護級別,防止工藝污染和粘合劑沉降。類似于PTFE用于清潔,熱和化學抗性Kalrezha通用密封材料的彈性和抗壓性,例如乙烯-丙烯聚合物(EPDM)。氟彈性體(EKM)和硅橡膠。已開發(fā)出Kalrez®neri和白色產品,以滿足特殊密封要求?，F代制藥和生物制藥生產流程,以提高純度及完整性。
符合FDA和USP標準
根據食品接觸通知證書FCN000101,美國食品和藥物管理局(FDA)已確認Kalrez”6221和Kalrez°6230全氟彈性體成分符合直接與食品接觸的重復使用要求。該證書是FDA針對食品接觸物質的上市前通知流程后頒發(fā)的,根據《聯邦食品法》第409(h)條的規(guī)定,《藥品和化妝品法》(21U.S.C.348(h))。這是FDA批準使用食品接觸產品的主要工具。FCN000101規(guī)定材料的可提取性限制不得超過0.031毫克/平方厘米。指定的Kalrez°6221和Kalrez®6230產品已根據美國藥典VI類(USPVI類)標準進行測試,并符合要求。此外,指定產品Kalrez*符合FDA21CFR 1777.2600標準的要求。
使用杜邦組件在電子領域提供更高的性能"卡爾雷茲®
在電子領域,涂料受到影響性能的工藝條件的影響。幾乎完全的耐化學性和高耐高溫性使杜邦部件™“Kalrez@}幾乎可以用于任何涉及高溫的工藝應用,包括所有類型的血漿。
除了 的耐化學性和熱穩(wěn)定性外,杜邦
卡爾雷茲“超純"“確保與反應性等離子體和清洗氣體接觸時減少污染,真空密封性能更好,脫氣更少。此外,卡爾雷茲"超純部件"“在無塵環(huán)境中制造,在100級工作站上特別清潔和雙重包裝。
Kalrez"組件確保在具有侵略性等離子體的應用中的長期可靠性,沉積作用,熱處理應用和
潮濕的,無論是晶圓加工,制造光伏電池板或液晶顯示設備的過程。
Kalrez組件可用作AS568標準0形圈,JIS和公制尺寸。此外,還提供粗片和特殊形狀,用于焊接密封件或定制開發(fā)。
在電子領域進行實地實驗
■使用高能氧等離子體焚燒爐生產超過50000個晶圓,無需更換噴嘴閥密封
在250°C的LPCVD氮化物管式爐中超過400個晶園(6個月)
在300”C的氮化物工藝中,與硅相比,密封件的使用壽命增加四倍,粘附性降低
■與其他全氟彈性體相比,在金屬酸攻擊過程中具有雙耐久性
與130°C等離子焚燒爐門密封件中的硅膠相比,密封件的使用壽命增加10倍
在100°C濕化學泵應用中可提取的離子更少
用于液體顯示器加工的酸接合裝置的大型螺旋閥密封時間超過6個月
■在280°C擴散爐應用中的密封持續(xù)時間超過3個月
8個月的密封期(比競爭對手的自定義密封期高35%%6)為杜邦"卡爾雷茲三葉""在TEOS PE-CVD工藝中
■在等離子體焚化爐中使用Kalrez密封件實現雙重使用壽命
■與競爭對手的全氟彈性體在等離子焚燒爐淋浴間中的密封壽命相比,密封壽命長8至14倍(超過3個月)
在PECVD閘閥應用中,與競爭對手的全氟彈性體相比,密封件的使用壽命長一倍
使用CIF3清洗氣體在LPCVD中實現 性能(脫氣并產生更小的顆粒)
杜邦組件"“Kalrez@在其他 應用環(huán)境中提供更好的性能
航空和航天工業(yè)
杜邦卡爾雷茲組件的耐高溫性能使其成為航空航天應用的理想選擇?？柪灼?組件還能夠抵御航空航天中使用的侵蝕性流體的接觸,作為噴氣燃料,發(fā)動機潤滑油,液壓流體,火箭推進劑和氧化劑。
石油和天然氣
Kalrez”組件即使在鉆并最惡劣的條件下也能正常工作,在高壓和高溫下,酸性氣體和腐蝕性液體。導致膨脹的熱量,腐蝕性液體和有毒氣體會破壞其他材料的物理特性和密封性能。
在超過40年的現場經驗中,應用于:30多年來,Kalrez組件在以下應用中表現出色:
·托管包裝機
車載輔助發(fā)電機
為了滿足工業(yè)界對能夠承受更惡劣操作環(huán)境的材料的需求,已經開發(fā)出新一代的航空/航天工業(yè)材料。這些產品,杜邦公司"卡爾雷茲航空密封劑",提供出色的熱穩(wěn)定性和抗壓縮性,保持良好的密封強度。
閥座,框架,密封件,用于包裝機,申T型管,U型密封件,每列記錄裝置,定制形狀
杜邦系統(tǒng)"Kalrez°值莖包裝™風(KVSP)
定制解決方案-有限元分析(FEA)
有限元分析軟件提供單源分析能力。從設計新的鋼筋構造與同步分析到優(yōu)化槽幾何FEA提供 的靈活性,縮短產品開發(fā)時間,將創(chuàng)新解決方案推向市場。
快速交貨
標準0型圈和庫存部件可在48小時內交付,在提出請求和事先同意的情況下,在歐洲和北美的大多數目的地。欲了解更多信息,請聯系銷售代表和客戶支持。
任何想要的形狀
存在和可靠的分銷商網絡
卡爾雷茲組件。,可通過授權經銷商的廣泛網絡迅速提供,提供技術支持,幫助您解決您的房地產問題。有關授權經銷商的完整列表,請聯系杜邦。
·標準0形環(huán),尺寸為AS-568、Metric和JIS
TM 杜邦™卡爾瑞茲
全氟彈性體零件
用于光伏制造工藝
技術信息-2012年9月
提高運行時間..
提高吞吐量...
更低的擁有成本..
隨著對光伏系統(tǒng)需求的增長,制造商必須找到增加正常運行時間和提高產量的方法。通常,使用更激進和高效的化學品和/或更高的溫度來增加吞吐量;從而對制造基礎設施造成更大壓力。由于不兼容的密封材料導致的計劃外維護可能會干擾生產計劃,導致停機時間。因此,無論是基于晶圓還是薄膜工藝的密封材料,都應該具有廣泛的化學相容性和優(yōu)異的熱穩(wěn)定性。
杜邦“Kalrez全氟彈性體部件已在高度腐蝕性密封環(huán)境中進行了30多年的現場驗證。Kalrez部件有助于提高在光伏工藝中的密封可靠性,這些工藝使用高溫、腐蝕性化學品和等離子體。Kalrez密封件能夠抵抗超過1,800種化學品:包括反應性氣體和等離子體、堿、酸和溶劑。即使在接觸這些腐蝕性化學品的情況下,Kalrez密封件在高達325°C的溫度下仍能保持其彈性體特性。
杜邦 推出的密封產品,旨在提供 性選擇性干法工藝的升級選擇,優(yōu)于標準彈性體。W230提供了 的性能組合(對酸/堿的抗性),以及杜邦所期望的經過驗證的性能。™Kalrez°全氟彈性體部件。
在第2頁中,建議的 Kalrez產品可用于不同的光伏電池制造工藝以及多晶硅原料生產和減排系統(tǒng)。
光伏產品選擇指南
硅片基電池制造工藝
表面處理/清潔
卡爾雷茲W230
興奮劑卡爾雷茲PV8070
工藝類型
鋸片損傷去除表面處理和清潔
N-興奮劑
邊緣隔離
P 硅酸鹽去除
ARC涂層
其他工藝類型
多晶硅原料生產西門子技術
消減系統(tǒng)(“濕”洗滌器)
邊緣隔離
Kalrez®W23019100
P 硅酸鹽去除 Kalrez°
W230
ARC涂層Kalrezw230/9100
典型工藝環(huán)境
HF,稍酸,80°C濃統(tǒng)NaOH,KOH,IPA,HCI,熱水
850-900°C,氧化物噴射,原位氟酒洗
CF/02等離子體刻蝕
NaOH、KOH、HF、HNOHCI等SiH4,NHa,02等離子體PECVD或反應濺射,原位NF3等離子清洗
典型工藝環(huán)境
TCS CVD沉積1100°C,SiHCI,HCI,赫茲
強酸/堿
金屬化
建議的杜邦產品
Kalrezo W230
Kalrez® P8070
Kalrez® W230/9100*
Kalrez® W230
Kalrez® W2309100
建議的杜邦產品
Kalreze W230PV8070
餷週婎觫敲鬚柘ぱ征lrezo W230
測試分院
薄膜電池制造工藝
返回聯系方式
模式化激光雕刻
工藝類型
細胞層沉積/吸收器
Amorphous/Micro-CrystallineSilicon
CIS/CIGS。擴散
。Cds緩沖沉積
oCu(In,GA)濺射
·碲化鎘
o單側激活
o鎘蝕刻
oCds緩沖區(qū)沉積
TCO沉積/前接觸
細胞層沉積
產品見下文
圖案化激光書寫
TCO沉積見下文關于產品。
典型工藝環(huán)境
SiH4,Hz,等離子體PECVD,遠程NF3等離子清洗
500-550”C,氫硒,H2S擴散65°C溶于NH40H中的Cd和S鹽400-600℃,真空
400°C,CdClz溶于甲醇,濃H3PO4,硝酸65°C,鎘和硫鹽溶于NHOHZn0反應濺射二乙基鋅(DEZ)MOCVD
圖案化激光書寫
鐺凝措試分院
建議的杜邦產品
Kalrez8 W2309100*
Kalrezs W230PV8070*
Kalrez® W230Kalrez® W230
Kalrez® W230Kalrez® W230Kalrez® W230Kalrez® W230
Kalrezs W230VPV8070*
請聯系Kalrez應用工程師,以獲取此應用中 的產品
杜邦Kalrez@W230光伏產品的推薦產品Kalrez°W230 全氟彈性體部件是一種黑色產品,適用于需要廣泛化學耐性的 PV 濕法和選擇性濕法制造工藝。W230提供了極好的性能組合(耐酸/堿),是PV濕法工藝的升級選擇,作為標準彈性體的替代品。建議 連續(xù)使用溫度為 230°C。杜邦™卡雷茲Kalrez°PV8070全氟彈性體部件是黑色產品,適用于需要高溫抗性的PV電池制造過程。它表現出優(yōu)異的耐熱穩(wěn)定性,并具有優(yōu)良的(低)壓縮變形和脫氣性能。它還具有良好的抗氯氣和氟氣以及其他干法工藝化學品的性能。KalrezPV8070具有優(yōu)異的機械強度性能,非常適合靜態(tài)和動態(tài)密封應用。建議的 連續(xù)使用溫度為325°C。短期游覽高溫地區(qū)也是可能的。
杜邦公司:卡爾雷茲9100Kalrez°9100全氟彈性體部件是一種琥珀色半透明產品,用于邊緣隔離、ARC涂層和要求耐氟等離子體的光伏電池制造工藝,包括非晶硅/微晶硅薄膜淀積。在基于氟的等離子體(如 NF3、F2)中,它表現出極低的重量損失和超低的粒子生成。它還具有優(yōu)異的耐干法化學性,并具有優(yōu)異的熱穩(wěn)定性、壓縮設定和排氣性能。Kalrez°9100具有良好的機械強度特性,非常適合靜態(tài)和動態(tài)密封應用。建議的 連續(xù)使用溫度為300°C。
杜邦公司™卡萊茲全氟橡膠零件
半導體工業(yè)中的等離子體過程
杜邦"Kalrez*全氟彈性體部件已在高度腐蝕性密封環(huán)境中成功使用超過40年。Kalrez*部件具有優(yōu)異的化學和熱穩(wěn)定性并經過特別配方和加工,以滿足晶圓處理環(huán)境的獨特要求。杜邦Kalrez密封件提供標準尺寸和定制尺寸的0形環(huán),以及滿足等離子體環(huán)境中品圓處理嚴格要求的可定制形狀。在半導體行業(yè)使用的所有Kalrez°}產品都采用專有超凈工藝和潔凈室處理作為標準。
等離子體過程的產品選擇
下表為根據生產工藝類型選擇 Kalrez%要件提供了一個快速簡便的工具:
工藝類型
HDPCVD
PECVD /PEALD
PECVD固化工藝
SACVD /FCVD
導體(聚合物/金屬)蝕刻
介電(氧化物)蝕刻
灰燼/碎屑
使用溫庶
250°C至300°C
275°C至310°C
150°C至200°C
280°C至300°C
150°C至225°C
100℃C至180°C
180°C至250°C
典型化學品
TMS,DEMS,TEOS,SiH,,NH,SiF4,0,,N,O,CF,NF
TMS,DEMS,TEOS,SiH,
NH,SiF,O,N,O,CF.NF
05+紫外線
TEP,TEBO,TEOS,O,NF,NH,
CF4,CHF,,HBr,BCL,CCLZ,CL
NF
CF ,CF CHF SF .O..H
O,,CF,CHF,NH,,水
蒸汽,H“形成氣體
建議產品
Kalrez”9100/9500
Kalrez*9600
Kalrez*87052
Kalrez°9500
Kalrez”9500/9600
Kalrez*9100/9300
卡爾雷茲9300
Kalrez*9300/8002
當前Kalrez@產品適用于等離子體應用
卡爾雷茲9600Kalrez°9600 部件專為高純度、高溫真空應用而設計,在這些應用中,密封件會暴露在具有破壞性的氟和氧等離子體自由基中。它具有極低的等離子體攻擊侵蝕率和重量損失,對氨、臭氧和水蒸汽具有良好的化學抗性。它在壓縮時的 彈性和在高溫條件下的超低出氣率使其特別適用于純度至關重要的應用,如等離子體增強原子層沉積和化學氣相沉積工黨
Kalrez*9500Kalrez® 9500 部件專門針對使用臭氧、氨和水蒸氣進行加工的沉積工藝而設計,例如SACVD、FCVD、PECVD 固化工藝等。它專門設計用于等離子體環(huán)境更“化學”的應用,即氧和氟原子基更占優(yōu)勢的應用。Kalrez°9500還具有出色的熱穩(wěn)定性、極低的氣體逸出和優(yōu)異的機械強度,非常適合靜態(tài)和動態(tài)密封應用。
卡爾雷茲”9300
Kalrez@9300 部件專為介電(氧化物)蝕刻應用而設計。它特別設計用于等離子體環(huán)境為離子(“物理”)和自由基(“化學”)組合的應用,即通常需要平衡“物理”和“化學等離子體耐蝕性的應用。Kalreze9300 表現出對氧和氟基等離子體和蝕刻工藝化學的出色耐性。它還具有非常低的金屬含量、優(yōu)異的熱穩(wěn)定性和機械強度,非常適合靜態(tài)和動態(tài)密封應用。
卡爾雷茲”9100Kalrez®9100部件專門針對 PECVD、ALD、HDPCVD 和導體(聚/金屬)蝕刻應用而設計Kalrez®9100 專門設計用于惡劣等離子體環(huán)境中的低磨損和超低粒子生成。它提供優(yōu)異的耐熱穩(wěn)定性、非常低的氣體逸出以及優(yōu)異的彈性恢復和良好的機械強度特性,非常適合靜態(tài)和“選擇”動態(tài)密封應用。
卡爾雷茲”8002Kalrez°8002部件是用于灰/帶應用的透明產品。與礦物填充產品相比,這種未填充的產品在氧氣和氟化物基等離子體中具有優(yōu)異的抗等離子體開裂性能和極低的粒子生成。Kalrez8002表現出優(yōu)異的干法化學抗性,具有良好的機械強度,非常適合靜態(tài)、低應力/低密封力以及“選擇”粘合門密封應用。
卡爾雷茲*8705Kalrez®8705 全氟彈性體部件主要設計用于常規(guī)光源或等離子體發(fā)出的高能紫外線(UV)輻射的直接路徑中的密封位置。它們還具有良好的抗高濃度破壞性自由基的能力,以及在高溫真空應用中的 密封功能。它們極低的粘附力使其成為密封石英表面的理想選擇,如紫外線固化室中的石英窗和光致抗蝕劑帶設備中的石英管,不會留下不想要的殘留物。
杜邦公司™卡萊茲全氟橡膠零件
半導體工業(yè)中的熱過程
杜邦™Kalrez°全氟彈性體部件已在高度腐蝕性密封環(huán)境中成功使用超過40年。Kalrez的部件具有優(yōu)異的化學和熱穩(wěn)定性,并經過特別配方和處理,以滿足晶圓處理環(huán)境的獨特要求。杜邦Kalrez)密封件提供標準尺寸和定制尺寸的0形環(huán),以及定制形狀,以滿足熱環(huán)境中品圓處理的高要求。在半導體行業(yè)使用的所有Kalrez)產品均采用專有超凈工藝和潔凈室處理作為標準。
熱過程產品選擇器
下表為根據生產工藝類型選擇 Kalrez®要件提供了一個快速簡便的工具:
工藝類型
ALD/LPCVD/金屬CVD
氧化/硝化/擴散
燈退火 /RTP
晶圓表面制備
使用溫度
250°C至300°C
280°C至300°C
250℃C至275°C
200°C至275°C
典型化學品
WF,TiCL,SIHHF,F.CL,O,HO蒸汽,CIF,
NO..H 0Vapor,HCI,CL,O,
紅外光、0、H、O蒸氣
NF.NH, HF, F,H,
建議產品
Kalrez*8900/7075UP
Kalrez 7075UP/8900
卡爾雷茲’8575
卡爾雷茲”9500/9600
1請咨詢Kalrez°應用指南和/或您的Kalrez"代表,以評估性能是否適合您的具體應用
熱過程的典型應用:
石英室密封件
愨使鐮柄劇躁戯鉦莉
中心環(huán)
低介電固化工藝
當前Kalrez°產品適用于熱應用
卡爾雷茲”8900Kalrez“8900”部件適用于氧化、擴散、ALD和LPCVD應用。它提供 的耐熱穩(wěn)定性、非常低的析氣率和優(yōu)異的(低)壓縮回彈特性。Kalrez*8900}部件在高溫下表現出優(yōu)異的物理性能保持能力,具有優(yōu)異的機械強度,非常適合靜態(tài)和動態(tài)密封應用。
叢黃聶標脩鍆嗒棲廡棛霊睪?ма37390901002412011D14115010138 280 150
Kalrez”8900 零件:非常低的外形與兼容的 FFKM 產品相比
卡爾雷茲”8575
Kalrez®8575部件適用于氧化、擴散、燈退火和實時傳輸協(xié)議密封應用。Kalrez°8575具有優(yōu)異的耐熱穩(wěn)定性和長期密封性能,紅外(IR)吸收少,在高溫下排氣性能顯著降低。它還具有良好的機械性能,適用于靜態(tài)和低應力/低密封力應用。
Kalrez”7075UPKalrez°7075UP 零件專門用于金屬 CVD 應用。它們具有出色的熱穩(wěn)定性、極低的析氣率和優(yōu)異的壓縮回彈特性。Kalrez°7075UP表現出優(yōu)異的密封力保持能力,具有良好的機械性能,非常適合靜態(tài)和動態(tài)密封應用。
Kalrez*8575 部分
超純后清潔和包裝是所有由Kalreze7075UP制造的零件的標準配置,
Kalrez* 7075UP O型圈
Kalrez 9500Kalrez@ 9500 部件專門針對使用臭氧、氨和水蒸氣進行加工的沉積工藝而設計,例如SACVD、FCVD、PECVD 固化工藝等。它專門設計用于等離子體環(huán)境更“化學”的應用,即氧和氟原子基更占優(yōu)勢的應用。Kalrez"9500還具有出色的熱穩(wěn)定性、極低的氣體逸出和優(yōu)異的機械強度,非常適合靜態(tài)和動態(tài)密封應用。
Kalrez" 9500件基于專有的交聯系統(tǒng)
該系統(tǒng)僅由杜邦提供。
Kalrez 9600Kalrez®9600 部件專為高純度、高溫真空應用而設計,在這些應用中,密封件會暴在具有破壞性的氟和氧等離子體自由基中。它具有極低的等離子體攻擊侵蝕率和重量損失,對氨、臭氧和水蒸汽具有良好的化學抗性。它在壓縮時的 彈性和在高溫條件下的超低出氣率使其特別適用于純度至關重要的應用,如等離子體增強原子層沉積和化學氣相沉積工藝。
Kalrez° 9600 0型園
杜邦公司”卡爾雷茲
半導體硅片加工用彈性密封件的泄氣特性
技術文獻-在AVS研討會上的論文,2009年11月
大多數集成電路制造工藝都在高真空或超高真空規(guī)定的范圍內對于確保 工藝效率、均勻性和一真空泵是維持足夠真空水平以進行加工的主要機制方面可以發(fā)揮作用。更重要的是控制腔室內工藝環(huán)通常可以補償由于密封放氣引起的真空水平變化成分的潛在有害變化。由于放氣引起的腔內分壓變云壓過程中的質量問題。
一般來說,人們普遍認為彈性體比金屬更容易逸出氣體。在許多超高真空系統(tǒng)中,使用金屬密封件來避免這個問題。然而,金屬密封件并不總是有效和/或實用。使用金屬密封件的一些困難包括:
安裝困難
昂貴
Non-reusable
動態(tài)應用中的密封性能較差
石英和陶瓷密封應用中部件損壞的可能性
因此,真空系統(tǒng)設計師和工藝工程師了解彈性密封件的脫氣特性非常重要。目前,沒有行業(yè)標準來測量和表征彈性密封件的脫氣性能,可用的有用數據有限。
本研究通過杜邦開發(fā)的一種測試方法,評估和比較了三種不同類別的彈性密封材料在半導體工藝環(huán)境中的析氣特性。表1列出了評估的產品/材料。
表1.評估的材料
彈性體分類
全氟橡膠
全氟橡膠
氟橡膠
硅酮
參考文獻識別
杜邦公司™ Kalrez°8900
杜邦公司™Kalrez°8475
FKM-K7
VMQ-T1
聚合物類型
TFE/PMVE
TFE/PMVE
VF?/HFP
甲基二硅氧烷
填充系統(tǒng)
碳黑
二氧化硅/金屬氧化物
系統(tǒng)
雜環(huán)
雜環(huán)
碳黑
二氧化硅
雙酚
有機過氧化物
*FKM 和 VMO 是ASTM 標記的彈性體類別。K7和T1是杜邦內部參考。
開發(fā)的測試方法和相關設備使用殘留氣體分析儀(四極質譜儀的一類術語)來評估彈性體的脫氣性能其他用于脫氣分析的測試方法/分析設備有時是TGA-FTIR或質譜法,以及頂空GC質譜法。雖然這些技術很有用,但它們有一些局限性和缺點。表2比較了每種測試方法的能力。
表2.排氣試驗方法比較
測試能力
真空下的測量
溫度控制
民進黨方法RGA/QMS*
是的,特高壓”
可編程的
分析溫度330“C氣體種類分析方法(帶電子倍增器)質量管理體系
定量結果
總排放速率(噸·升/秒/厘米2)
TGA-FTIR/MS熱
重分析
不,1臺自動取款機
可編程的
1000“C
MS或FTIR
體重減輕百分比
HS-GC/MS頭空
間氣相色譜法
不,1臺自動取款機
等溫的
230“C
GCIIMS
難以獲得(需要昂貴的校準)
超高真空,1x10&torr"QMS=Quadrupole Mass Spectrometer
杜邦測試方法的主要優(yōu)點是在代表典型半導體工藝的環(huán)境中獲得定量放電數據的能力。
本文介紹了杜邦開發(fā)的測試方法,比較了三種常用彈性體(表1)的脫氣數據,并討論了這些數據如何用于協(xié)助設備和工藝工程師。測量和比較的特征包括總脫氣率作為溫度的函數和給定溫度下的總脫氣率作為時間的函數。此外,該方法和設備允許分析/監(jiān)測與每種速率測試中的物質質量電荷比(M/z)相關的特定氣體物種。
2.0實驗程序
杜邦開發(fā)的協(xié)議涉及設備和測試方法,能夠測量彈性體在類似于典型半導體加工應用條件下的脫氣特性。它允許確定總脫氣速率與時間和溫度的關系,并在真空下監(jiān)測樣品釋放的特定氣體種類。
由于彈性體通常是根據其化學耐性和熱穩(wěn)定性與使用要求的組合來選擇的,因此初始測試比較了每種材料在溫度增加時的脫氣特性。在這些測試中,很明顯有必要在兩個階段測量脫氣率與溫度的測試。在初始加熱階段(從約50°C到>300C),一些材料脫氣,使得腔室內的局部壓力增加到>1x10 4托。 在這種偏壓下,無法使用能夠提高離子電流/氣體種類檢測靈敏度的電子倍增器。
此外,由于評估的三種材料中有兩種通常不建議在高于約200°C的情況下連續(xù)使用,因此分兩階段進行了脫氣特性測試。 階段測試在約50°C至200°C的范圍內進行。在真空下冷卻至約50°C后, 階段在同一樣品上從約50°C至330°C進行。采用這種方法可以更準確地監(jiān)測(并更全面地了解)脫氣機制。圖1顯示了脫氣測試設備。
圖1.殘留氣體分析器/排氣試驗設備
2.1樣品的制備
AS568A尺寸為214的0形環(huán)與表1中列出的每種材料相對應。每個0形環(huán)都被稱重。然后收集0形環(huán)的1/16部分,用于評估。在樣品制備過程中,注意避免可能的污染,因為處理可能會影響放氣結果。將樣品放入石英舟中,然后將石英舟放入石英樣品管中(見圖2)。
2.2測試設備的設置與運行
在對任何彈性體樣品進行評估之前,系統(tǒng)通過允許其泵壓兩周左右來調節(jié),以確保系統(tǒng)清潔且無污染物。關閉閥門#2后,使用渦輪分子泵(TMP)泵壓至約2x10°托。在進行出氣測試之前,將真空保持在這一水平12小時。初始調節(jié)后,TMP連續(xù)運行,直到測試完成。在閥門#2仍然關閉的情況下,將包含樣品的石英管緊固到位。使用一個Conflat密封件銅金屬密封件)來確保任何氣體逸出都只來自評估樣品。一旦石英管就位,打開閥門#3并使用干泵將石英樣品室抽至1x10"托爾的真空水平。
2.3 定量和定性排氣測量與表征2.3.1.脫氣速率與溫度的關系( 階段)-通過關閉閥門#3并打開閥門#2,系統(tǒng)被允許平衡(P1=P2~1x107托)。離子計1和離子計2(真空室)之間的真空管線具有0.0005升/秒的傳導系數。使用此傳導系數,脫氣流量的計算如下
Q=C(P2-P1),其中
Q=氣體流量(轉/升/秒)
C=導電系數與管徑和長度成正比=.005升/秒。
P2=離子計2處的壓力讀數(扭矩)
P1=離子計#1處的壓力讀數(扭矩)
由于樣品以受控速率(1°C/min)加熱,從彈性體中逸出的氣體導致P2發(fā)生變化,從而計算出產生的流量。將產生的流量除以評估樣品的表面積,得到每平方厘米表面積逸出流量(托-升/秒/平方厘米),將流量繪制成與石英管溫度的關系圖,間隔20℃。石英管加熱器升至200℃℃。在閥門#2仍然打開的情況下,樣品被允許冷卻至約50°C,并在夜間保持該溫度。
2.3.2 析氣速率與溫度的關系( 階段)-在樣品冷卻過夜后,重復該步驟;然而將溫度以2°C/min的速度升至330°C。在此期間,計算并繪制了析氣速率與石英管溫度的關系圖。
2.3.3 在指定溫度(275°C)下的析氣速率與時間-對于此測試,按照第2.1節(jié)所述制備新樣品。重復第2.3.1節(jié)所述的順序;然而,將溫度以4°C/min的速度升至275°C,并在275°C下保持21小時。在此期間,計算析氣流量并繪制與時間的關系圖。
2.3.4析出氣體的定性和半定量分析---在第2.3.1至2.3.3節(jié)概述的每一次放氣速度試驗中,均使用四極質譜儀對析出氣體進行分析。根據適當的電荷質量比(M/z),繪制了選定氣體種類的相對強度與溫度或時間的關系圖。這與每種材料的排氣速率曲線相結合,提供了一種半定量的測量方法,并對演變的氣體種類進行了比較。雖然可以監(jiān)測所有產生的氣體種類,但只監(jiān)測并繪制了通常與吸收/產生的大氣氣體(H20、02、N2/CO和CO2)逸出相關的氣體種類,以及與交聯或熱分解相關的氣體復合物。對于測試的全氟彈性體和氟彈性體,這些是HF、CF2H、CF3和C2F3;對于硅樣本,這些是(CH3)3-Si和(CH3)3-Si-0-Si-(CH3)3.
用于分析的質諾儀的規(guī)格如下:
制造商:
型號:
纖維類型:
大規(guī)模分解:
探測器:
敏感性:
最小可探測部分壓力:
安爾瓦M-QA100TS鎢M/delta M2M
CEM(電子乘數)
3.8 A/Pa(CEM)用于N2
1堪.0 E-12 Pa
相對離子強度數據以對數尺度繪制。從數據中進行了許多觀察,以幫助理解每種材料的速率性能差異以及導致這種差異的氣體物種的身份。
在所有監(jiān)測的氣體種類中,M/z=18(H20)對每種材料的振幅度 。隨著溫度的升高,杜邦的H20離子強度"Kalrez°8475和FKM-K7比杜邦高出一個數量級Kalrez°8900和VMQ-T1。這似乎是造成排氣速率差異的主要原因。
按離子強度順序排列的下一組氣體包括吸收/進化的大氣氣體(N2,02,CO,二氧化碳
離子強度 的氣體與熱降解有關。這些氣體是全氟橡膠和氣橡膠的HF和CF絡合物,以及硅酮的CH3-Si絡合物。
數據顯示,所有測試的材料類別都會吸收大氣中的氣體(主要是水分),這些氣體會在加熱時逸出。它還表明,同一材料類別(Kalrez°8900和8475)的逸出性能可能會受到配方/混合差異的影響。
3.2 階段排氣(50°C至330°C)
圖10顯示了圖9顯示了所有四種材料在 階段的總放氣速率與溫度數據。為了比較,目使用與圖9中 階段數據一致的垂直刻度重新繪制的 階段速率數據。
關于 階段結果以及 階段和 階段之間關系的意見和評論是:
·在 次加熱上升周期中,所有四種材料的析氣速率保持非常低且平穩(wěn),直到達到約200°C。這表明,一旦材料暴露在特定溫度下并在真空中允許析氣,其性能將保持穩(wěn)定,直到引入更高溫度以引發(fā)進一步反應。從200°C到330℃,杜邦"Kalrez®8900和 8475 的析氣率 ,而VMQ-T1和 FKM-K7 的析氣率顯著增加。這符合與標準氟橡膠和硅酮相關的公認的熱限制。
· 階段和 階段的速率曲線比較表明,在大約200°C時,Kalrez°8475}和VMO-T1的速率性能之間存在交叉點。Kalrez°8475}以乎表現出較高的初始脫氣,這可能是因為其填料系統(tǒng)的吸濕性更強。然而,隨著溫度的升高,VMQ-T1的熱限制導致其以比Kalrez° 8475}更高的速率脫氣。
圖11、12、13和14分別顯示了Kalrez°8475、Kalrez°8900、FKM-K7和VMQ-T1的選擇性離子強度數據。
